Scanning optical system

   
   

The invention relates to a scanning optical system of small size, which is constructed of a reduced number of optical elements. A scanning optical system 10 comprises a prism. In forward ray tracing from a light source 11 to an image plane (the surface to be scanned), a light beam from the light source is collimated by a condensing optical system constructed of a first transmitting surface 1T, a second reflecting surface 1R and a second transmitting surface 2T into a substantially parallel light beam, which is then reflected and deflected at a two-dimensional scanner 12. The reflected and deflected light forms an image through an image-formation optical system constructed of a third transmitting surface 3T, a second reflecting surface 2R, a third reflecting (total reflection) surface 3R and a fourth transmitting surface 4T for two-dimensional scanning of the surface to be scanned.

L'invention concerne un système optique de balayage de la petite taille, qui est construite avec d'un nombre réduit d'éléments optiques. Un système optique 10 de balayage comporte un prisme. Dans le rayon vers l'avant traçant d'une source lumineuse 11 à un avion d'image (la surface à balayer), un faisceau lumineux de la source lumineuse est collimaté par un système optique de condensation construit avec d'un premier 1T extérieur de transmission, d'un deuxième 1R extérieur se reflétant et d'une deuxième surface de transmission 2T dans un faisceau lumineux essentiellement parallèle, qui est alors reflété et braqué à un module de balayage bidimensionnel 12. Les formes légères reflétées et braquées que une image par un système optique d'image-formation a construit avec troisième d'une surface de transmission 3T, une deuxième surface se reflétante 2R, un tiers (réflexion totale) 3R extérieur se reflétant et une quatrième surface de transmission 4T pour le balayage bidimensionnel de la surface à balayer.

 
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< Optical switch

< Electromechanical valve assembly for an internal combustion engine

> Projection exposure apparatus and device manufacturing method using the same

> Lithographic apparatus, device manufacturing method, and device manufactured thereby

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