A micromirror is fabricated in a substrate by defining a mirror platform on
a first side of the substrate, defining an actuator structure corrected to
the platform on a second side of the substrate, and then releasing the
mirror platform for motion with the actuator. The actuator may be a comb
drive structure having interdigitated movable finger electrodes connected
to the mirror platform and stationary finger electrodes mounted on the
substrate. The movable and stationary finger electrodes preferably are
asymmetrical, and when activated, controllably move the mirror platform
either horizontally or vertically with respect to the surface of the
substrate.
The comb drive structure may be connected at one of its ends to a torsional
support beam secured to the substrate, for torsional motion of the mirror
platform with respect to the substrate. Alternatively, the comb drive may
be connected at both ends to spaced torsional support beams for vertical
motion of the platform with respect to the substrate. In the latter case,
the actuator preferably includes spaced hinges to allow expansion of the
actuator length.
Micromirror изготовлено в субстрате путем определять платформу зеркала на первой стороне субстрата, определяя структуру привода исправленную к платформе на второй стороне субстрата, и после этого выпуская платформу зеркала для движения с приводом. Привод может быть структурой привода гребня имея interdigitated подвижные электроды перста соединенные к платформе зеркала и неподвижные электроды перста установленные на субстрате. Подвижные и неподвижные электроды перста предпочтительн несимметричны, и после того как я активированы, controllably двигают платформу зеркала или горизонтально или вертикальн по отношению к поверхности субстрата. Структура привода гребня может быть подключена на одном из своих концов к крутящему лучу поддержки обеспеченному к субстрату, для крутящего движения платформы зеркала по отношению к субстрату. Друг, привод гребня может быть соединен на обоих концах к размеченным крутящим лучам поддержки для вертикального движения платформы по отношению к субстрату. В последнем случае, привод предпочтительн вклюает размеченные шарниры для того чтобы позволить расширение длины привода.
