Wiring with insulation pattern

   
   

The invention provides a semiconductor device having less defectives in shape of a patterned wiring layer even in a case of having a wiring layer for which patterning is required to be carried out over a longer period of etching time, and a method for producing the same. By carrying out dry etching using a fluorine-based gas with a photoresist 17a used as a mask, an auxiliary mask 15a is formed by patterning the insulation membrane. Next, by carrying out dry etching using a chlorine-based gas using the auxiliary mask 15a and the remaining photoresist 17a as masks, wiring 13a is formed by patterning the wiring layer 13. In the second etching, the auxiliary mask 15a is scarcely etched. Therefore, if the thickness of the photoresist 17a is equivalent to that in the prior arts, it is possible to pattern a thicker wiring layer 13 than in the prior arts.

L'invention fournit un dispositif de semi-conducteur ayant moins de defectives dans la forme d'une couche de câblage modelée même dans un cas d'avoir une couche de câblage pour laquelle modeler est exigé pour être effectué sur une plus longue période de temps gravure à l'eau-forte, et une méthode pour produire la même chose. En effectuant gravure à l'eau-forte sèche en utilisant un gaz fluor-basé avec un vernis photosensible 17a utilisé comme masque, un masque auxiliaire 15a est constitué en modelant la membrane d'isolation. Après, en effectuant gravure à l'eau-forte sèche employer un gaz chlore-basé en utilisant le masque auxiliaire 15a et le vernis photosensible restant 17a comme masques, câblant 13a est constitué en modelant la couche 13 de câblage. Dans deuxième gravure à l'eau-forte, le masque auxiliaire 15a n'est à peine gravé à l'eau-forte. Par conséquent, si l'épaisseur du vernis photosensible 17a est équivalente à celle dans les arts antérieurs, il est possible de modeler une couche plus épaisse 13 de câblage que dans les arts antérieurs.

 
Web www.patentalert.com

< Heater energization control circuit, heater energization control method, and image forming apparatus

< Magnetic memory device and method of manufacturing the same

> Semiconductor device and method of manufacturing the same

> Vehicle power converted with shunt resistor having plate-shape resistive member

~ 00133