A semiconductor device includes an effective pattern region and at least
one measurement mark region. The measurement mark region includes a
measuring objective portion. The measuring objective portion has the same
shape as a portion forming part of the effective pattern region.
Een halfgeleiderapparaat omvat een efficiënt patroongebied en minstens één gebied van het metingsteken. Het gebied van het metingsteken omvat een het meten objectief gedeelte. Het het meten objectieve gedeelte heeft de zelfde vorm zoals een gedeelte dat een deel van het efficiënte patroongebied vormt.
