A stress-balancing layer formed over portions of a spring metal finger that
remain attached to an underlying substrate to counter internal stresses
inherently formed in the spring metal finger. The (e.g., positive)
internal stress of the spring metal causes the claw (tip) of the spring
metal finger to bend away from the substrate when an underlying release
material is removed. The stress-balancing pad is formed on an anchor
portion of the spring metal finger, and includes an opposite (e.g.,
negative) internal stress that counters the positive stress of the spring
metal finger. A stress-balancing layer is either initially formed over the
entire spring metal finger and then partially removed (etched) from the
claw portion, or selectively deposited only on the anchor portion of the
spring metal finger. An interposing etch stop layer is used when the same
material composition is used to form both the spring metal and
stress-balancing layers.
Uno strato d'equilibratura ha formato le parti eccessive di una barretta del metallo della molla che rimangono fissate ad un substrato di fondo ai contro sforzi interni inerentemente formati alla barretta del metallo della molla. (per esempio, positivo) lo sforzo interno del metallo della molla causa l'artiglio (punta) della barretta del metallo della molla alla curvatura via dal substrato quando un materiale di fondo del rilascio è rimosso. Il rilievo d'equilibratura è formato su una parte dell'ancoraggio della barretta del metallo della molla ed include (per esempio, negativo) uno sforzo interno opposto che contatori lo sforzo positivo della barretta del metallo della molla. Uno strato d'equilibratura inizialmente è formato sopra l'intera barretta del metallo della molla ed allora parzialmente è rimosso (inciso) dalla parte dell'artiglio, o selettivamente è depositato soltanto sulla parte dell'ancoraggio della barretta del metallo della molla. Uno strato d'interposizione di arresto incissione all'acquaforte è usato quando la stessa composizione materiale è usata per formare sia il metallo della molla che gli strati d'equilibratura.
