Low-noise spectroscopic ellipsometer

   
   

A spectroscopic ellipsometer comprising a light source (1) emitting a light beam, a polarizer (2) placed on the path of the light beam emitted by the light source, a sample support (9) receiving the light beam output from the polarizer, a polarization analyzer (3) for passing the beam reflected by the sample to be analyzed, a detection assembly which receives the beam from the analyzer and which comprises a monochromator (5) and a photodetector (4), and signal processor means (6) for processing the signal output from said detection assembly, and including counting electronics (13). Cooling means (12) keep the detection assembly at a temperature below ambient temperature, thereby minimizing detector noise so as to remain permanently under minimum photon noise conditions. It is shown that the optimum condition for ellipsometric measurement is obtained by minimizing all of the sources of noise (lamps, detection, ambient).

Ein spektralanalytisches ellipsometer, das eine Lichtquelle (1) ausstrahlt einen Lichtstrahl, ein Polarisator (2) enthält, setzte auf den Weg des Lichtstrahls, der durch die Lichtquelle, eine Beispielunterstützung ausgestrahlt wurde (9), die den Lichtstrahl empfängt, der vom Polarisator, ein Polarisationanalysator (3) für das Führen des Lichtstrahls ausgegeben wurde, der durch die analysiert zu werden reflektiert wurde Probe, eine Abfragung, die den Lichtstrahl vom Analysator empfängt und die einen Monochromator (5) und einen Photodetektor (4) enthält, und Signalprozessor bedeutet (6) für die Verarbeitung des Signals, das von besagter Abfragung ausgegeben wird, und das Einschließen, Elektronik (13) zählend. Abkühlende Mittel (12) halten die Abfragung bei einer Temperatur unterhalb der umgebenden Temperatur, dadurch sieherabsetzen sieherabsetzen Detektorgeräusche, um unter minimalen Photongeräuschbedingungen dauerhaft zu bleiben. Es wird gezeigt, daß die optimale Bedingung für ellipsometric Maß erreicht wird, indem man alle Quellen der Geräusche herabsetzt (die Lampen, Abfragung, umgebend).

 
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