Trace impurities such as organic compounds in an inert, non-reactive or
reactive liquid such as ammonia, hydrogen chloride, hydrogen bromide, and
chlorine are reduced by at least a factor of 5 using liquid purifying
systems that contain an ultra-low emission (ULE) carbon. The moisture
level of the purified reactive liquid is only slightly higher than that of
the contaminated liquid.
De onzuiverheden van het spoor zoals organische samenstellingen in een inerte, niet reactieve of reactieve vloeistof zoals ammoniak, waterstofchloride, waterstofbromide, en chloor worden verminderd door minstens een factor van 5 gebruikend vloeibare zuiverende systemen die een ultra-low emissie (ULE) koolstof bevatten. Het vochtigheidsniveau van de gezuiverde reactieve vloeistof is lichtjes slechts hoger dan dat van de vervuilde vloeistof.
