Optical displacement-measuring apparatus

   
   

An optical displacement-measuring apparatus has a scale on which optical gratings are formed along a first axis and a second axis. It also has a sensor head arranged opposite to the scale and relatively movable along the first and second axes. The sensor head includes a photosensitive unit (3) for optically detecting a relative movement to provide a displacement signal. The photosensitive unit (3) includes a transparent substrate (30). A photosensitive device array (PDAy) is formed with a semiconductor film deposited on the substrate (30) and arrayed along the first axis at a certain pitch for providing a displacement signal corresponding to a displacement along the first axis. A photosensitive device array (PDAx) is formed with a semiconductor film deposited on the photosensitive device array (PDAy) sandwiching an insulator layer therebetween and arrayed along the second axis at a certain pitch for providing a displacement signal corresponding to a displacement along the second axis.

Um instrumento demedição ótico tem uma escala em que os gratings óticos são dados forma ao longo de uma primeira linha central e de uma segunda linha central. Tem também uma cabeça do sensor arranjou o oposto à escala e relativamente móvel ao longo dos primeiros e segundos machados. A cabeça do sensor inclui uma unidade photosensitive (3) para ótica detectar um movimento relativo para fornecer um sinal do deslocamento. A unidade photosensitive (3) inclui uma carcaça transparente (30). Uma disposição do dispositivo photosensitive (PDAy) é dada forma com uma película do semicondutor depositada na carcaça (30) e posta ao longo da primeira linha central em um determinado passo para fornecer um sinal do deslocamento que corresponde a um deslocamento ao longo da primeira linha central. Uma disposição do dispositivo photosensitive (PDAx) é dada forma com uma película do semicondutor depositada na disposição do dispositivo photosensitive (PDAy) que imprensa uma camada do isolador therebetween e pôs ao longo da segunda linha central em um determinado passo para fornecer um sinal do deslocamento que corresponde a um deslocamento ao longo da segunda linha central.

 
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