When it is intended to realize a lens having a large NA with one lens, an
adjustment precision between both surfaces of the lens is very strict.
Accordingly an objective lens having an NA of 0.8 or more was usually
realized by two lenses. However, a working distance is small, and
collision of the objective lens with a disc is apt to occur. A coma
corrector for compensating coma caused by decentering of both surfaces in
realizing the high NA lens with one lens is added. However, in this case,
astigmatism occurs when the objective lens decenters from the coma
corrector relatively accompanied with a tracking operation. The objective
lens and the coma corrector are fixed to a mirror barrel so as to be
unified with each other, and driven by a two-dimensional lens actuator.
With such a constitution, decentering of the objective lens and the coma
corrector does not occur, and hence astigmatism does not occur.
Όταν προορίζεται να πραγματοποιηθεί ένας φακός που έχει ένα μεγάλο NA με έναν φακό, μια ακρίβεια ρύθμισης και μεταξύ των δύο επιφανειών του φακού είναι πολύ αυστηρή. Αναλόγως ένας αντικειμενικός φακός που έχει ένα NA 0,8 ή περισσότερων πραγματοποιήθηκε συνήθως από δύο φακούς. Εντούτοις, μια απόσταση εργασίας είναι μικρή, και η σύγκρουση του αντικειμενικού φακού με έναν δίσκο είναι πιθανή να εμφανιστεί. Ένας διορθωτής coma για το coma αντιστάθμισης που προκαλείται με και των δύο επιφανειών στην πραγματοποίηση του υψηλού φακού NA με έναν φακό προστίθεται. Εντούτοις, σε αυτήν την περίπτωση, ο αστιγματισμός εμφανίζεται όταν τα αντικειμενικά decenters φακών από το διορθωτή coma σχετικά που συνοδεύεται με μια λειτουργία καταδίωξης. Ο αντικειμενικός φακός και ο διορθωτής coma καθορίζονται σε ένα βαρέλι καθρεφτών ώστε να ενοποιηθούν ο ένας με τον άλλον, και να οδηγηθούν από έναν δισδιάστατο ενεργοποιητή φακών. Με ένα τέτοιο σύνταγμα, του αντικειμενικού φακού και ο διορθωτής coma δεν εμφανίζονται, και ως εκ τούτου ο αστιγματισμός δεν εμφανίζεται.
