Measuring method and apparatus using attenuation in total internal reflection

   
   

A state of attenuation in total internal reflection is detected by the use of a measuring apparatus having a measuring unit and a reference unit and a measuring system which corrects result of detection by the measuring unit on the basis of result of detection by the reference unit and measures the change of a state of attenuation in total internal reflection on the basis of the corrected result of detection by the measuring unit. The difference in sensitivity between the measuring unit and the reference unit is detected before initiating the measurement of the change of a state of attenuation in total internal reflection, and result of measurement by the measuring system is calibrated on the basis of the difference in sensitivity between the measuring unit and the reference unit.

Een staat van vermindering in totale interne discussie wordt door middel van een metend apparaat ontdekt dat een metende eenheid en een verwijzingseenheid en een metend systeem heeft dat resultaat van opsporing door de metende eenheid op basis van resultaat van opsporing door de verwijzingseenheid verbetert en de verandering van een staat van vermindering in totale interne discussie op basis van het verbeterde resultaat van opsporing door de metende eenheid meet. Het verschil in gevoeligheid tussen de metende eenheid en de verwijzingseenheid wordt ontdekt alvorens de meting van de verandering van een staat van vermindering in totale interne discussie, en resultaat van meting in werking te stellen door het metende systeem is gekalibreerd op basis van het verschil in gevoeligheid tussen de metende eenheid en de verwijzingseenheid.

 
Web www.patentalert.com

< Method of using scatterometry measurements to control stepper process parameters

< Analytical method and apparatus for blood using near infrared spectroscopy

> Polarimetric scatterometer for critical dimension measurements of periodic structures

> Apparatus and method to measure film motion in a film gate

~ 00132