Protective fullerene (C60) packaging system for microelectromechanical systems applications

   
   

The invention involves tunneling tips to their conducting surface, and specifically the deposition of a monolayer of fullerene C.sub.60 onto the conducting plate surface to protect the tunneling tip from contact. The Fullerene C.sub.60 molecule is approximately spherical, and a monolayer of fullerene has a thickness of one nanometer, such that a monolayer thereby establishing the theoretical distance desired between the MEMS' tunneling tip and the conducting plate. Exploiting the electrical conductivity of C.sub.60, the tip can be accurately positioned by simply monitoring conductivity between the fullerene and the tunneling tip. By monitoring the conductivity between the tip and the fullerene layer as the tip is brought in proximity, the surfaces can be brought together without risk of contacting the underlying conducting surface. Once the tunneling tip is positioned at the one nanometer spacing, with only the monolayer of fullerene between the tunneling tip and the conducting plate, the monolayer of C.sub.60 can be broken down thermally and removed chemically leaving only the tunneling tip and the conducting plate at the ideal tunneling spacing. Alternatively, the properties of fullerene allow the tunneling process to occur directly across the fullerene monolayer.

Вымысел включает проложить тоннель концы к их дирижируя поверхности, и специфически низложение монослоя fullerene C.sub.60 на дирижируя поверхность плиты для того чтобы защитить конец прокладывать тоннель от контакта. Молекула Fullerene C.sub.60 приблизительно сферически, и монослой fullerene имеет толщину одного нанометра, такого что монослой таким образом устанавливая теоретическое расстояние пожелал между концом прокладывать тоннель MEMS' и дирижируя плитой. Эксплуатирующ электрическую проводимость C.sub.60, конец может точно быть расположен просто контролировать проводимость между fullerene и концом прокладывать тоннель. Путем контролировать проводимость между концом и слоем fullerene как конец приносит в близость, поверхности смогите быть принесено совместно без риска контактировать основную дирижируя поверхность. Как только конец прокладывать тоннель расположен на одно дистанционирование нанометра, с только монослоем fullerene между концом прокладывать тоннель и дирижируя плитой, монослой C.sub.60 можно сломать вниз термально и извлечь химически оставляющ только конец прокладывать тоннель и дирижируя плита на идеально дистанционировании прокладывать тоннель. Друг, свойства fullerene позволяют процесс прокладывать тоннель произойти сразу через монослой fullerene.

 
Web www.patentalert.com

< Micromechanical rotation system with coupled actuators

< Systems for testing and packaging integrated circuits

> Microspectrometer gas analyzer

> Beam shaping and projection imaging with solid state UV gaussian beam to form vias

~ 00132