A micro-electro-mechanical (MEMS) switch (10, 110) has an electrode (22,
122) covered by a dielectric layer (23, 123), and has a flexible
conductive membrane (31, 131) which moves between positions spaced from
and engaging the dielectric layer. At least one of the membrane and
dielectric layer has a textured surface (138) that engages the other
thereof in the actuated position. The textured surface reduces the area of
physical contact through which electric charge from the membrane can
tunnel into and become trapped within the dielectric layer. This reduces
the amount of trapped charge that could act to latch the membrane in its
actuated position, which in turn effects a significant increase in the
operational lifetime of the switch.
Ένας micro-electro-mechanical διακόπτης (MEMS) (10, 110) έχουν ένα ηλεκτρόδιο (22, 122) καλυμμένος από ένα διηλεκτρικό στρώμα (23, 123), και έχουν μια εύκαμπτη αγώγιμη μεμβράνη (31, 131) που κινείται μεταξύ των θέσεων που χωρίζονται κατά διαστήματα από και που δεσμεύουν το διηλεκτρικό στρώμα. Τουλάχιστον μια από τη μεμβράνη και το διηλεκτρικό στρώμα έχει μια κατασκευασμένη επιφάνεια (138) που συμμετέχει άλλου επ' αυτού στην ωθημένη θέση. Η κατασκευασμένη επιφάνεια μειώνει τον τομέα της φυσικής επαφής μέσω στης οποίας η ηλεκτρική δαπάνη από τη μεμβράνη μπορεί να ανοίξει και να γίνει παγιδευμένη μέσα στο διηλεκτρικό στρώμα. Αυτό μειώνει το ποσό παγιδευμένης δαπάνης που θα μπορούσε να ενεργήσει για να κλείσει τη μεμβράνη στην ωθημένη θέση της με το μάνταλο, η οποία επηρεάζει στη συνέχεια μια σημαντική αύξηση στη λειτουργική διάρκεια ζωής του διακόπτη.
