A MEMS SLM and an electrostatic actuator associated with a pixel in an SLM.
The actuator has three electrodes: a lower electrode; an upper electrode
fixed with respect to the lower electrode; and a center electrode
suspended and actuable between the upper and lower electrodes. The center
electrode is capable of resiliently-biasing to restore the center
electrode to a non-actuated first equilibrium position, and a mirror is
operably connected to the center electrode. A first voltage source
provides a first bias voltage across the lower and center electrodes and a
second voltage source provides a second bias voltage across the upper and
center electrodes, with the first and second bias voltages determining the
non-actuated first equilibrium position of the center electrode. A third
voltage source provides a variable driver voltage across one of the
lower/center and upper/center electrode pairs in series with the
corresponding first or second bias voltage, to actuate the center
electrode to a dynamic second equilibrium position.
Un SLM de MEMS y un actuador electrostático se asociaron a un pixel en un SLM. El actuador tiene tres electrodos: un electrodo más bajo; un electrodo superior fijado con respecto al electrodo más bajo; y un electrodo de centro suspendido y actuable entre los electrodos superiores y más bajos. El electrodo de centro es capaz de resistente-predisponer para restaurar el electrodo de centro a una primera posición no-actuada del equilibrio, y un espejo operably está conectado con el electrodo de centro. Una primera fuente del voltaje proporciona un primer voltaje de polarización a través del más bajo y los electrodos de centro y una segunda fuente del voltaje provee de un segundo voltaje de polarización a través de los electrodos del alto y del centro, los primeros y segundos voltajes de polarización que determinan la primera posición no-actuada del equilibrio del electrodo de centro. Una tercera fuente del voltaje provee de un voltaje variable del conductor a través de uno de los pares del electrodo de lower/center y de upper/center en series corresponder primero o el segundo voltaje de polarización, para actuar el electrodo de centro a una segunda posición dinámica del equilibrio.
