The object of the present invention is to provide an optically functional
element having a large change in refractive index with temperature change
and a fast change rate in refractive index, a production method for the
same and optical switch, temperature sensor and optical information
recording medium using the same.
The present invention provides a thin film formed directly on a substrate
or via other layers, and the film is composed of particles with an average
diameter of not larger than 13 nm, observed at film surface. The present
invention also provides an optically functional element having an amount
of change in refractive index of not less than 2.0.times.10.sup.-4
/.degree. C. The present invention further provides a production method
for said thin film by sputtering under reduced pressure in an inert gas
atmosphere containing 3-15% by volume of oxygen, and optical switch,
temperature sensor and optical information recording medium using said
element.
El objeto de la actual invención es proveer de un elemento ópticamente funcional que tiene un cambio grande en el índice de refracción el cambio de temperatura y una tarifa rápida del cambio en el índice de refracción, un método de producción para el mismo y el interruptor óptico, el sensor de temperatura y medio óptico de la grabación de la información usando igual. La actual invención proporciona una película fina formada directamente en un substrato o vía otras capas, y la película se compone de partículas con un diámetro medio de no más en gran parte que 13 nm, observado en la superficie de la película. La actual invención también proporciona un elemento ópticamente funcional que tiene una cantidad de cambio en el índice de refracción no de menos que 2.0.times.10.sup.-4 /.degree. C. La actual invención más futura proporciona un método de producción para la película fina dicha farfullando bajo presión reducida en una atmósfera del gas inerte que contiene 3-15% por el volumen de oxígeno, e interruptor óptico, sensor de temperatura y medio óptico de la grabación de la información usando el elemento dicho.
