A width-measurement method of reducing or eliminating an error in
measurement of a width of an object on a sample resulting from the
dimension of the beam diameter, wherein a width-measured value of the
object to be width-measured which has been obtained on the basis of a
secondary signal obtained from secondary particles emitted from the sample
having thereon the object to be width-measured is corrected with a value
with respect to a dimension value of a beam diameter.
Une méthode de largeur-mesure de réduire ou d'éliminer une erreur dans la mesure d'une largeur d'un objet sur un échantillon résultant de la dimension du diamètre de faisceau, où une valeur largeur-mesurée de l'objet largeur-à mesurer qui a été obtenu sur la base d'un signal secondaire a obtenu à partir des particules secondaires émises de l'échantillon ayant là-dessus l'objet largeur-à mesurer est corrigée avec une valeur en ce qui concerne une valeur de dimension d'un diamètre de faisceau.
