Accordingly, a method of suppressing energy spikes is provided comprising
projecting a laser beam through a mask having a slit pattern comprising a
corner region with edges, and a blocking feature with the corner region to
reduce energy spikes projected on a substrate. An alternative method is
provided, wherein the corner region is modified such that it is replaced
by a more tapered shaped region, preferably a triangle. Also provided, are
a variety of mask designs incorporating both corner regions, with and
without one or more blocking features, and triangular regions, with or
without one or more blocking features. The mask designs provide examples
of mask modifications that may be used to reduce energy spikes.
En conséquence, une méthode de supprimer des transitoires d'énergie est comportement fournie projetant un rayon laser par un masque ayant un modèle de fente comporter une région faisante le coin avec des bords, et un dispositif de blocage avec la région faisante le coin pour réduire des transitoires d'énergie projetées sur un substrat. Une méthode alternative est fournie, où la région faisante le coin est modifiée tels qu'elle est remplacée par une région formée plus conique, de préférence une triangle. En outre fournies, sont une variété de conceptions de masque incorporant les régions faisantes le coin, avec et sans un ou plusieurs dispositifs de blocage, et des régions triangulaires, avec ou sans un ou plusieurs dispositifs de blocage. Les conceptions de masque fournissent des exemples des modifications de masque qui peuvent être employées pour réduire des transitoires d'énergie.
