An EUV radiation source (50) that employs a steering device (74) for
steering a stream (66) of droplets (68) generated by a droplet generator
(52) so that the droplet (68) are directed towards a target location (76)
to be vaporized by a laser beam (78). The direction of the stream (66) of
droplets (68) is sensed by a sensing device (84). The sensing device (84)
sends a signal to an actuator (88) that controls the orientation of the
steering device (74) so that the droplets (68) are directed to the target
location (76).
Een EUV stralingsbron (50) die een leidingsapparaat (74) voor het sturen van een stroom (66) van druppeltjes (68) aanwendt die door een druppeltjegenerator (52) worden geproduceerd zodat druppeltje (68) naar een doelplaats (76) om door een laserstraal (78) opdracht aan wordt gegeven aan worden gelaten verdampen. De richting van stroom (66) van druppeltjes (68) wordt ontdekt door een ontdekkend apparaat (84). Ontdekkend apparaat (84) verzendt een signaal naar actuator (88) die de richtlijn van leidingsapparaat (74) controleert zodat druppeltjes (68) aan doelplaats (76) worden geleid.
