Method and apparatus for dynamic DMD testing

   
   

A method and apparatus for measuring the transient behavior characteristics of individual micromirrors in a DMD micromirror array. The method and system use sampling techniques to measure an amount of light reflected by an individual micromirror as the entire micromirror array is stimulated with a pattern of alternating driving signals. Sampling is achieved by illuminating the DMD micromirror array with a high-speed illumination source that provides stroboscopic light flashes of very short time length. By synchronizing the light flashes with the mirror driving signal and measuring the amount of light reflected by the individual micromirrors at different points in time, the transient behavior characteristics of individual micromirrors in a DMD micromirror array can be measured with a high level of accuracy.

Μια μέθοδος και μια συσκευή για τα παροδικά χαρακτηριστικά συμπεριφοράς των μεμονωμένων micromirrors σε μια σειρά micromirror DMD. Η μέθοδος και το σύστημα χρησιμοποιούν τις τεχνικές δειγματοληψίας για να μετρηθεί ένα ποσό φωτός που απεικονίζεται από ένα μεμονωμένο micromirror όπως η ολόκληρη σειρά micromirror υποκινείται με ένα σχέδιο των εναλλασσόμενων οδηγώντας σημάτων. Η δειγματοληψία επιτυγχάνεται με τη διαφώτιση της σειράς micromirror DMD με μια πηγή μεγάλου φωτισμού που παρέχει stroboscopic ελαφριές λάμψη του πολύ σύντομου χρονικού μήκους. Με το συγχρονισμό των ελαφριών λάμψεων με το οδηγώντας σήμα καθρεφτών και τη μέτρηση του ποσού φωτός που απεικονίζεται από τα μεμονωμένα micromirrors στα διαφορετικά χρονικά σημεία, τα παροδικά χαρακτηριστικά συμπεριφοράς των μεμονωμένων micromirrors σε μια σειρά micromirror DMD μπορούν να μετρηθούν με ένα υψηλό επίπεδο ακρίβειας.

 
Web www.patentalert.com

< Method and apparatus for adjusting illumination angle

< Turntable measuring apparatus utilizing attenuated total reflection

> Delay time measurement apparatus for optical element

> Monitoring substrate processing using reflected radiation

~ 00131