Scanning probe systems, which include scanning probe microscopes (SPMs),
atomic force microscope (AFMs), or profilometers, are disclosed that use
cantilevered spring (e.g., stressy metal) probes formed on transparent
substrates. When released, a free end bends away from the substrate to
form the cantilevered spring probe, which has an in-plane or out-of-plane
tip at its free end. The spring probe is mounted in a scanning probe
system and is used to scan or otherwise probe a substrate surface. The
probes are used for topography, electrical, optical and thermal
measurements.
I sistemi d'esplorazione della sonda, che includono i microscopii della sonda di esame (SPMs), il microscopio atomico della forza (AFMs), o i profilometri, sono rilevati che usa le sonde cantilevered della molla (per esempio, metallo stressy) formate sui substrati trasparenti. Una volta liberata, un'estremità libera si piega via dal substrato per formare la sonda cantilevered della molla, che ha una punta dell'fuori-de-aereo o dell'in-aereo alla relativa estremità libera. La sonda della molla è montata in un sistema della sonda di esame ed è usata per esplorare o sondare al contrario una superficie del substrato. Le sonde sono usate per le misure elettriche, ottiche e termiche di topografia.
