Process and apparatus for real-time determination of a solid sample
composition as a function of the depth within the sample. The process
comprises: forming a glow discharge (16) of atoms sputtered from an
exposed area (17) of the sample (13) and analysing the glow discharge by
optical emission spectroscopy; measuring the distance between said exposed
area (17) and a fixed reference surface (12a) and determining from the
measured distance the depth of the exposed area within the sample; and
correlating the determined depth of the exposed area with the glow
discharge analysis. Application to material analysis.
Procedimento ed apparecchio per determinazione in tempo reale di una composizione solida del campione in funzione della profondità all'interno del campione. Il processo contiene: formando uno scarico di incandescenza (16) di atomi ha polverizzato da una zona esposta (17) del campione (13) e di analizzare lo scarico di incandescenza dalla spettroscopia ottica dell'emissione; misurando la distanza fra zona esposta detta (17) e una superficie di riferimento fissa (12a) e determinando dalla distanza misurata la profondità della zona esposta all'interno del campione; e correlando la profondità risoluta della zona esposta con l'analisi di scarico di incandescenza. Applicazione ad analisi materiale.
