One aspect of the present invention relates to a system and method for
mitigating errors in SE data in order to determine changes in a
polarization state of a source beam after interaction with a specimen. The
system includes a light source for directing a source beam to a focusing
optical element, a polarization system comprising a diffractive optical
element or a wire grid polarizer, located between the focusing optical
element and the specimen such that the source beam is polarized after
being reflected from the focusing optical element. The polarized source
beam is transmitted to the specimen. Changes in polarization state of the
beam created by interaction with the sample are monitored to characterize
the sample.
Un aspecto de la actual invención se relaciona con un sistema y un método para atenuar errores en datos del SE para determinar cambios en un estado de polarización de una viga de la fuente después de la interacción con un espécimen. El sistema incluye una fuente de luz para dirigir una viga de la fuente a un elemento óptico que se enfoca, un sistema de la polarización que abarca un elemento óptico difrangente o un polarizador de la rejilla del alambre, situado entre el elemento óptico que se enfoca y el espécimen tales que la viga de la fuente está polarizada después de ser reflejado del elemento óptico que se enfoca. La viga polarizada de la fuente se transmite al espécimen. Los cambios en el estado de polarización de la viga creada por la interacción con la muestra se supervisan para caracterizar la muestra.
