Piezoelectronic actuator and liquid jetting head

   
   

The present invention provides an optimum layer structure for a piezoelectric actuator in which (100) orientation strontium ruthenate is used as a bottom electrode. The piezoelectric actuator comprises a Si substrate 20, a diaphragm 30 comprising (110) or (100) orientation strontium oxide which is formed thereon by way of epitaxial growth, a bottom electrode 42 comprising (100) orientation strontium ruthenate having a perovskite structure, a piezoelectric layer 43 comprising (100) orientation PZT, and a top electrode 44.

La actual invención proporciona una estructura óptima de la capa para un actuador piezoeléctrico en el cual el ruthenate del estroncio de la orientación (de 100) se utilice como electrodo de tierra. El actuador piezoeléctrico abarca un substrato 20 del silicio, un diafragma el abarcar de 30 (110) o el óxido del estroncio de la orientación (de 100) que se formen sobre eso por el crecimiento epitaxial, ruthenate del estroncio de la orientación del electrodo de tierra que abarca 42 (100) que tienen una estructura del perovskite, orientaciones que abarca PZT de la capa 43 piezoeléctricos (las 100), y un electrodo superior 44.

 
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