Method of automatically focusing an optical beam on transparent or reflective thin film wafers or disks

   
   

A method is provided for automatically focusing a light signal on a surface of a substrate. The method is independent of the substrate material and is effective for both opaque and transparent substrates. A method is also provided for calibrating a system to allow for automatic focusing of a light signal.

Un metodo è fornito per automaticamente la focalizzazione del segnale chiaro su una superficie di un substrato. Il metodo è indipendente dal materiale del substrato ed è efficace per sia i substrati opachi che trasparenti. Un metodo inoltre è fornito per la calibratura del sistema per tenere conto la focalizzazione automatica di un segnale chiaro.

 
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