A scanning interferometer employs dual interferometer modules at different
wavelengths to expand a dynamic range of measurement, a compound probe for
measuring multiple surfaces, and a confocal optical system for
distinguishing between the surfaces measured by the compound probe. Within
the compound probe, miniature optics divide a test beam into two sub-test
beams that are focused normal to different test surfaces. Both sub-test
beams contain the different wavelengths. A separate interferometer
monitors movements of the compound probe for producing absolute measures
of the test surfaces.
Un interferometro di esame impiega i moduli doppi dell'interferometro alle lunghezze d'onda differenti per espandere una gamma dinamica di misura, una sonda compound per la misurazione delle superfici multiple e un sistema ottico confocal per la distinzione fra le superfici misurate dalla sonda compound. All'interno della sonda compound, l'ottica miniatura divide un fascio della prova in due fasci della secondario-prova che sono normale messo a fuoco alle superfici differenti della prova. Entrambi i fasci della secondario-prova contengono le lunghezze d'onda differenti. Un interferometro separato controlla i movimenti della sonda compound per produrre le misure assolute delle superfici della prova.
