Ejection head for aggressive liquids manufactured by anodic bonding

   
   

A method for manufacturing an ejection head (10) or ejector suitable for ejecting in the form of droplets (16) a liquid (14) conveyed inside the ejection head (10), comprising a step of producing, from a silicon wafer, a nozzle plate (12) having at least one ejection nozzle (13); a step of producing, from another silicon wafer, a substrate (11) having at least one actuator (15) for activating the ejection of the droplets of liquid through the nozzle (13); and a step of joining the nozzle plate (12) and the substrate (11) together to form the ejection head, wherein this joining step comprises the production of a junction (25), made by means of the anodic bonding technology, between the substrate (11) and the nozzle plate (12), in such a way that, in the area of this junction (25), the ejection head (10) does not present structural discontinuities, and also possesses a resistance to chemical corrosion by the liquid (14) contained in the ejection head (10) at least equal to that of the silicon constituting both the substrate (11) and the nozzle plate (12). The method of the invention may be applied for manufacturing an ink jet printhead (110), having one or more nozzles (113a, 113b, etc.), which has the advantage, with respect to the known printheads, of also being suitable for working with special inks characterized by high level chemical aggressiveness. In general, the ejection head of the invention, thanks to its structure which is globally highly robust and also chemically inert in the area of the junction (25), can be used advantageously with various types of liquids, even with marked chemical aggressiveness, in different sectors of the art, for example for ejecting paints on various types of media, generally not paper, in the industrial marking sector; or for ejecting in a controlled way droplets of fuel, such as petrol, in an internal combustion engine.

Um método para manufaturar uma cabeça da ejeção (10) ou ejetor apropriado para ejetar no formulário das gotas (16) que um (14) líquido fizeram saber dentro da cabeça da ejeção (10), compreendendo uma etapa de produzir, de um wafer de silicone, uma placa do bocal (12) que tem ao menos um bocal da ejeção (13); uma etapa de produzir, de um outro wafer de silicone, uma carcaça (11) que tem ao menos um atuador (15) para ativar a ejeção das gotas do líquido através do bocal (13); e uma etapa de juntar a placa do bocal (12) e a carcaça (11) junto para dar forma à cabeça da ejeção, wherein esta etapa juntando compreende a produção de uma junção (25), feita por meio da tecnologia anodic da ligação, entre a carcaça (11) e a placa do bocal (12), de tal maneira que, na área desta junção (25), a cabeça da ejeção (10) não apresenta descontinuidades estruturais, e possui também uma resistência à corrosão química pelo (14) líquido contida na cabeça da ejeção (10) ao menos igual àquela do silicone que constitui a carcaça (11) e a placa do bocal (12). O método da invenção pode ser aplicado manufaturando um printhead do jato da tinta (110), tendo um ou mais bocal (113a, 113b, etc.), que tem a vantagem, com respeito aos printheads sabidos, também de ser apropriado para trabalhar com as tintas especiais caracterizadas pelo aggressiveness do produto químico do nível elevado. _ general, ejeção cabeça invenção, agradecimento seu estrutura que est global elevado robust e também químico inerte área junção (25), poss est us vantajoso com vário tipo líquido, uniforme com marcado químico aggressiveness, diferente setor arte, para exemplo para ejet pintura vário tipo meio, geral não papel, industrial marking setor; ou para ejetar em gotas controladas de uma maneira do combustível, tais como o petrol, em um motor de combustão interna.

 
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