Ferroelectric semiconductor memory device and a fabrication process thereof

   
   

A ferroelectric random access memory has a ferroelectric capacitor formed of a stacking of a lower electrode, a PZT film and an upper electrode of SrRuO.sub.3, wherein the PZT film includes pinholes, with a pinhole density of about 17 .mu.m.sup.2 or less.

Una memoria de acceso al azar ferroelectric tiene un condensador ferroelectric formado de apilar de un electrodo más bajo, de una película de PZT y de un electrodo superior de SrRuO.sub.3, en donde la película de PZT incluye agujeros de alfiler, con una densidad del agujero de alfiler del mu.m.sup.2 cerca de 17 o de menos.

 
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< Coating and material for forming vitreous coating film, method of coating with the same, and coater

< Method for measuring substance and testing piece

> Magnetic resonance imaging coated assembly

> Polishing method

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