Accelerometer protected by caps applied at the wafer scale

   
   

An accelerometer chip (202) has a molded thermoplastic cap (210) applied on one surface to provide a cavity into which the cantilevered mass (204) of the accelerometer may move. An array of caps is applied to a wafer of accelerometer chips (202) before singulation of the wafer.

Ένα τσιπ επιταχυμέτρων (202) εφαρμόζει μια φορμαρισμένη θερμοπλαστική ΚΑΠ (210) σε μια επιφάνεια για να παρέχει μια κοιλότητα στην οποία η μάζα (204) του επιταχυμέτρου μπορεί να κινηθεί. Μια σειρά καλυμμάτων εφαρμόζεται σε μια γκοφρέτα των τσιπ επιταχυμέτρων (202) πριν από το singulation της γκοφρέτας.

 
Web www.patentalert.com

< Method of forming semiconductor structures with reduced step heights

< Film deposition to enhance sealing yield of microcap wafer-level package with vias

> Conductive etch stop for etching a sacrificial layer

> Compact sensor using microcavity structures

~ 00126