A meso-scale MEMS device having a movable member (51) is formed using
standard printed wiring board and high density interconnect technologies
and practices. In one embodiment, sacrificial material disposed about the
movable member (51) is removed through openings (101, 102) as formed
through a cover (91) to form a cavity (121) that retains and limits the
freedom of movement of the movable member (51). The movable member can
support a reflective surface (224) to thereby provide a mechanism that
will support a projection display and/or image scanner (such as a bar code
scanner).
Meso-escale el dispositivo de MEMS que tiene un miembro movible que se forma (51) usando la placa de circuito impresa estándar y las tecnologías y las prácticas de alta densidad de la interconexión. En una encarnación, el material sacrificatorio dispuesto sobre el miembro movible (51) se quita con las aberturas (101, 102) según lo formado a través de una cubierta (91) para formar una cavidad (121) que conserven y limiten la libertad movimiento del miembro movible (51). El miembro movible puede apoyar una superficie reflexiva (224) de tal modo para proporcionar un mecanismo que apoye un explorador de la exhibición y/o de la imagen de la proyección (tal como un explorador de clave de barras).
