An exemplary system and method for providing an acoustic plate wave
apparatus is disclosed as comprising inter alia: a monocrystalline silicon
substrate (200); an amorphous oxide material (220); a monocrystalline
perovskite oxide material (230); a monocrystalline piezoelectric material
(240); and a flexural plate wave component (250, 270) having an input
interdigitated transducer (270), an output interdigitated transducer (250)
and an optional support layer (260). Deposition or removal of material on
or from an absorptive thin film sensor surface (210), or changes in the
mechanical properties of the thin film (210) in contact with various
chemical species, or changes in the electrical characteristics of a
solvent solution exposed to the thin film (210) generally operate to
produce measurable perturbations in the vector quantities (e.g., velocity,
etc.) and scalar quantities (e.g., attenuation, etc.) of the acoustic
plate modes.
Ένα υποδειγματικές σύστημα και μια μέθοδος για μια ακουστική συσκευή κυμάτων πιάτων αποκαλύπτονται όπως περιλαμβάνοντας μεταξύ άλλων: ένα monocrystalline υπόστρωμα πυριτίου (200) ένα άμορφο υλικό οξειδίων (220) ένα monocrystalline perovskite υλικό οξειδίων (230) ένα monocrystalline πιεζοηλεκτρικό υλικό (240) και ένα κάμψης τμήμα κυμάτων πιάτων (250, 270) έχοντας μια εισαγωγή ο μετατροπέας (270), μια παραγωγή ο μετατροπέας (250) και ένα προαιρετικό στρώμα υποστήριξης (260). Η απόθεση ή η αφαίρεση του υλικού σε ή από μια απορροφητικοη επιφάνεια αισθητήρων λεπτών ταινιών (210), ή οι αλλαγές στις μηχανικές ιδιότητες της λεπτής ταινίας (210) σε επαφή με τα διάφορα χημικά είδη, ή οι αλλαγές στα ηλεκτρικά χαρακτηριστικά μιας διαλυτικής λύσης που εκτίθεται στη λεπτή ταινία (210) γενικά λειτουργούν για να παραγάγουν τις μετρήσιμες διαταραχές στις διανυσματικές ποσότητες (π.χ., ταχύτητα, κ.λπ....) και κλιμακωτές ποσότητες (π.χ., μείωση, κ.λπ....) από τους ακουστικούς τρόπους πιάτων.
