An array of movable MEMS mirror devices is provided having a high linear
mirror fill factor. The array includes a base structure and selectively
movable mirror structures pivotally mounted on the base structure. Each
mirror structure is pivotally supported by a flexure connected to the base
structure. The mirror structures each include a reflective surface
portion, which is arranged in close proximity to the reflective surface
portions of other mirror structures and in a generally linear alignment,
forming a row structure. The flexures supporting adjacent mirror
structures are staggered on opposite sides of the row structure.
Uma disposição de dispositivos móveis do espelho de MEMS é fornecida tendo um fator linear elevado da suficiência do espelho. A disposição inclui uma estrutura baixa e seletivamente umas estruturas móveis do espelho montadas pivotally na estrutura baixa. Cada estrutura do espelho é suportada pivotally por um flexure conectado à estrutura baixa. O espelho estrutura cada um inclui uma parcela de superfície reflexiva, que seja arranjada na proximidade próxima às parcelas de superfície reflexivas de outras estruturas do espelho e em um alinhamento geralmente linear, dando forma a uma estrutura da fileira. Os flexures que suportam estruturas adjacentes do espelho são desconcertados em lados opostos da estrutura da fileira.
