A coordinate measuring stage includes a stationary base part having a
linear X guidance element, a center part slidable along the linear X
guidance element, and an X-Y-positionable stage body for reception of a
substrate, the X-Y positionable stage body being movable slidingly alone
the Y guidance element. The center part is arranged in freely suspended
fashion over the base part and supported at one end on the Y guidance
element and with at another end on another support element. The Y guidance
element, the other support element, and the stake body are supported,
slidably and independently of one another, on the surface of the base
part.
Une étape de mesure du même rang inclut une partie basse stationnaire ayant un élément linéaire de conseils de X, une partie centrale glissable le long de l'élément linéaire de conseils de X, et un corps d'étape de X-Y-positionable pour la réception d'un substrat, le corps positionable d'étape de X-Y étant slidingly seule mobile l'élément de conseils de Y. La partie centrale est arrangée de mode librement suspendue au-dessus de la partie basse et soutenue à une extrémité sur l'élément de conseils de Y et avec à une autre extrémité sur un autre élément de soutien. L'élément de conseils de Y, l'autre élément de soutien, et le corps de pieu sont soutenus, de façon coulissante et indépendamment d'un un autre, sur la surface de la partie basse.
