Inspecting a patterned surface using photoemission of electrons includes
selecting materials of the patterned surface, selecting a light source to
produce a difference in yield of photoelectrons from the materials,
applying the light from the light source to the patterned surface,
detecting the emission of photoelectrons from the patterned surface, and
inspecting the patterned surface based on the detected photoelectron
emissions.
Η επιθεώρηση μιας διαμορφωμένης επιφάνειας που χρησιμοποιεί τη φωτοεκπομπή των ηλεκτρονίων περιλαμβάνει την επιλογή των υλικών της διαμορφωμένης επιφάνειας, που επιλέγουν μια πηγή φωτός για να παραγάγει μια διαφορά στην παραγωγή των φωτοηλεκτρονίων από τα υλικά, που εφαρμόζει το φως από την πηγή φωτός στη διαμορφωμένη επιφάνεια, που ανιχνεύει την εκπομπή των φωτοηλεκτρονίων από τη διαμορφωμένη επιφάνεια, και που επιθεωρεί τη διαμορφωμένη επιφάνεια βασισμένη στις ανιχνευμένες εκπομπές φωτοηλεκτρονίων.
