Silicon mesa structure integrated in a glass-on-silicon waveguide, and a method of manufacturing it

   
   

An integrated silicon mesa structure integrated in a glass-on-silicon waveguide, and a method of manufacturing it. The silicon mesa waveguide is integrated in a glass-on-silicon waveguide composed of a wave-guiding core between lower and upper sheath layers having a refractive index lower than the index of the wave-guiding core. The silicon mesa structure is preferably made of the silicon substrate, and a low loss silicon mesa waveguide is formed by removing excess material below the mesa structure. Further, transitions between the glass-on-silicon waveguide the the silicon mesa waveguide section are preferably formed such that transmission of light passing the transitions is adiabatic.

Eine integrierte Silikon-MESA Struktur integrierte in einem Glas-auf-Silikon Wellenleiter und in einer Methode der Herstellung es. Der Silikon-MESA Wellenleiter wird in einem Glas-auf-Silikon Wellenleiter integriert, der niedriger aus einem wellenartig bewegen-leitenden Kern zwischen den untereren und oberen Hülle besteht Schichten, die einen Brechungsindex als der Index des wellenartig bewegen-leitenden Kernes haben. Die Silikon-MESA Struktur wird vorzugsweise vom Silikonsubstrat gebildet, und ein niedriger Verlustsilikon-MESA Wellenleiter wird gebildet, indem man überschüssiges Material unterhalb der MESA Struktur entfernt. Weiter werden Übergängen zwischen dem Glas-auf-Silikon Wellenleiter der Silikon-MESA Wellenleiterabschnitt vorzugsweise so gebildet, daß das Getriebe des Lichtes die Übergänge führend adiabatisch ist.

 
Web www.patentalert.com

< On-chip graded index of refraction optical waveguide and damascene method of fabricating the same

< Silica-based optical waveguide circuit and fabrication method thereof

> Conductor connecting apparatus

> Device holder accommodating wavelength division multiplexers

~ 00124