An interferometric optical microscopy system for imaging an object, the
system including: a measurement beam mask array having an array of
aperture pairs positioned to receive radiation emitted from the object in
response to a measurement beam, radiation emerging from the array of
aperture pairs defining a measurement return beam; a reference beam source
array positioned to receive a reference beam, the reference beam source
array comprising an array of elements each configured to radiate a portion
of the reference beam, the radiated reference beam portions defining a
reference return beam; and imaging optics positioned to direct the
measurement and reference return beams to the photo-detector and
configured to produce overlapping conjugate images of the array of
reference elements and the array of apertures pairs, wherein the conjugate
image for each aperture pair overlaps with the conjugate image of a
corresponding reference element, wherein the imaging optics include a
pinhole array positioned in the conjugate image plane, the pinhole array
having an array of pinholes each aligned with a corresponding aperture
pair image, and wherein the measurement and reference beams are derived
from a common source.
Een interferometric optisch de microscopiesysteem voor weergave een voorwerp, het systeem met inbegrip van: een het maskerserie die van de metingsstraal een serie van openingsparen die worden geplaatst heeft om straling te ontvangen die van het voorwerp in antwoord op een metingsstraal wordt uitgezonden, straling die uit de serie van openingsparen te voorschijn komt die een straal van de metingsterugkeer bepalen; een van de bron verwijzingsstraal serie die wordt geplaatst om een verwijzingsstraal, de van de bron verwijzingsstraal serie te ontvangen bestaand uit een serie van elementen elk gevormd om een gedeelte uit te stralen van de verwijzingsstraal, de uitgestraalde gedeelten die van de verwijzingsstraal een straal van de verwijzingsterugkeer bepaalt; en weergaveoptica die wordt en om de meting en verwijzingsterugkeerstralen aan de fotodetector te leiden wordt gevormd geplaatst om overlappende verenigde beelden van de serie van verwijzingselementen en de serie van openingenparen te veroorzaken, waarin het verenigde beeld voor de overlappingen van elk openingspaar met het verenigde beeld van een overeenkomstig verwijzingselement, waarin de weergaveoptica een geplaatste speldeprikserie in het verenigde beeldvliegtuig omvat, de speldeprikserie die een serie van speldeprikken heeft elk gericht op een overeenkomstig beeld van het openingspaar, en waarin de meting en verwijzingsstralen worden afgeleid uit een gemeenschappelijke bron.
