Sonic transducers utilize resonant cavities of varying depths to achieve
wide operational bandwidth. The transducers may include a conductive
membrane spaced apart from one or more backplate electrodes. In one
approach, spacing is achieved using a dielectric spacer having a series of
depressions arranged in a pattern, the depressions forming cavities each
resonant at a predetermined frequency. In another approach, the conductive
membrane is piezoelectrically active, and the transducer is simultaneously
driven in both piezoelectric and electrostatic modes.
Les capteurs soniques utilisent les cavités résonnantes des profondeurs variables pour réaliser la largeur de bande opérationnelle large. Les capteurs peuvent inclure une membrane conductrice espacée indépendamment d'une ou plusieurs électrodes de plaque arrière. Dans une approche, l'espacement est réalisé en utilisant une entretoise diélectrique ayant une série de dépressions disposées dans un modèle, les dépressions formant des cavités chacune résonnante à une fréquence prédéterminée. Dans une autre approche, la membrane conductrice est piezoelectrically en activité, et le capteur est simultanément conduit en modes piézoélectriques et électrostatiques.
