The present invention relates to an illumination system including an
illumination source, a beam conditioner placed in an optical path with the
illumination source, a first diffractive array, a condenser system and a
second diffractive array. The illumination source directs light through
the beam conditioner onto the first diffractive array. The light is then
directed to the condenser system placed in an optical path between the
first diffractive array and second diffractive array. The condenser system
includes a plurality of stationary optical elements and a plurality of
movable optical elements. The plurality of movable optical elements are
placed in an optical path with the plurality of stationary optical
elements. The movable optical elements are capable of translation between
the plurality of stationary optical element to zoom the light received
from the first diffractive array. The second diffractive array is
optically coupled to the condenser system, receives light from the
condenser system, which in turn generates an illumination field at a
reticle.
La actual invención se relaciona con un sistema de iluminación incluyendo una fuente de la iluminación, un acondicionador de la viga colocado en una trayectoria óptica con la fuente de la iluminación, un primer arsenal difrangente, un sistema del condensador y un segundo arsenal difrangente. La fuente de la iluminación dirige la luz a través del acondicionador de la viga sobre el primer arsenal difrangente. La luz entonces se dirige al sistema del condensador puesto en una trayectoria óptica entre el primer arsenal difrangente y el arsenal en segundo lugar difrangente. El sistema del condensador incluye una pluralidad de elementos ópticos inmóviles y una pluralidad de elementos ópticos movibles. La pluralidad de elementos ópticos movibles se pone en una trayectoria óptica con la pluralidad de elementos ópticos inmóviles. Los elementos ópticos movibles son capaces de la traducción entre la pluralidad de elemento óptico inmóvil enfocar la luz recibida del primer arsenal difrangente. El segundo arsenal difrangente ópticamente se junta al sistema del condensador, recibe la luz del sistema del condensador, que alternadamente genera un campo de la iluminación en un retículo.
