Test coupon pattern design to control multilayer saw singulated plastic ball grid array substrate mis-registration

   
   

A new method is provided for evaluating the alignment of inner layers of interconnect layers. A test pattern is inserted within and as part of the process of creating a saw singulated plastic ball grid array substrate. The test pattern comprises a test point of reference for each inner layer of the substrate and multiple measurement points relating to the point of reference whereby each of these multiple measurement points is indicative of an amount of clearance or misalignment with respect to that inner-layer. By measuring electrical continuity or lack thereof between the point of reference and the respective multiple measurement points relating to the point of reference and by identifying which of the multiple points is shorted to the point of reference, the mis-alignment of the inner layers of the saw singulated plastic ball grid array substrate can be determined.

Um método novo é fornecido avaliando o alinhamento de camadas internas de camadas do interconnect. Um teste padrão de teste é introduzido dentro e como a parte do processo de criar uma serra singulated a carcaça plástica da disposição da grade da esfera. O teste padrão de teste compreende um ponto de teste da referência para cada camada interna da carcaça e dos pontos múltiplos da medida que relacionam-se ao ponto da referência por meio de que cada um destes pontos múltiplos da medida é indicativo de uma quantidade de afastamento ou de misalignment com respeito a essa interno-camada. Medindo a continuidade ou a falta elétrica disso entre o ponto da referência e os pontos múltiplos respectivos da medida que relacionam-se ao ponto da referência e identificando que dos pontos múltiplos shorted ao ponto da referência, o mis-alignment das camadas internas da serra singulated a carcaça plástica da disposição da grade da esfera pode ser determinado.

 
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< Evaluating pattern for measuring an erosion of a semiconductor wafer polished by a chemical mechanical polishing

< Method of testing a semiconductor package device

> Flip-chip assembly with thin underfill and thick solder mask

> Method and apparatus for user guidance in optical inspection and measurement of thin films and substrates, and software therefore

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