Method for forming crystalline semiconductor layers, a method for fabricating thin film transistors, and a method for fabricating solar cells and active matrix liquid crystal devices

   
   

A crystalline semiconductor layer can be formed by forming a semiconductor film on an inexpensive conventional substrate. Next, perform a first annealing process in which nearly the entire surface of the semiconductor film is exposed to laser irradiation or other forms of irradiation, and then perform a second annealing process consisting of rapid thermal annealing. This enables the formation of a high quality crystalline semiconductor film with high throughput but without subjecting the substrate to undue thermal stress. When this invention is applied to thin film transistors, good transistors having high performance are easily fabricated. When this invention is applied to solar cells, energy conversion efficiency is increased.

Eine kristallene Halbleiterschicht kann gebildet werden, indem man einen Halbleiterfilm auf einem billigen herkömmlichen Substrat bildet. Zunächst führen Sie einen ersten Ausglühenprozeß, in dem fast die gesamte Oberfläche des Halbleiterfilmes Laser Bestrahlung oder anderen Formen der Bestrahlung ausgesetzt wird, durch und führen Sie dann ein Prozeßbestehen des zweiten Ausglühens aus schnellem thermischem Ausglühen durch. Dieses ermöglicht der Anordnung eines hohe Qualitätskristallenen Halbleiterfilmes mit hohem Durchsatz aber, ohne das Substrat übermäßigem thermischem Druck zu unterwerfen. Wenn diese Erfindung auf Dünnfilmtransistoren zugetroffen wird, werden die guten Transistoren, die hohe Leistung haben, leicht fabriziert. Wenn diese Erfindung an den Solarzellen angewendet wird, wird Energieumwandlung Leistungsfähigkeit erhöht.

 
Web www.patentalert.com

< Method for manufacture of a solar cell

< Damascene method employing multi-layer etch stop layer

> Recharger for use with a portable electronic device and which includes a proximally located light emitting device

> Method of producing semiconductor member and method of producing solar cell

~ 00123