A product wafer processed by a semiconductor manufacturing apparatus is
transferred to a check apparatus for checking, and a result thereof is
sent to a host computer. A product wafer determined as being failed as a
result of the checking is transported into an empty carrier by a built-in
type wafer transport apparatus under the instruction of the host computer.
The carrier in which the product wafer determined as being failed is
accommodated is regarded as a rework lot by the host computer. Based on
manufacturing standard information for rework held by the host computer,
rework processing is performed through a wafer manufacturing operation.
Therefore, such a semiconductor device manufacturing line results in that
the carrier accommodating the product wafer is transferred and handled
smoothly.
Μια γκοφρέτα προϊόντων που υποβάλλεται σε επεξεργασία από μια συσκευή κατασκευής ημιαγωγών μεταφέρεται σε μια συσκευή ελέγχου για, και ένα αποτέλεσμα επ' αυτού στέλνεται σε έναν οικοδεσπότη υπολογιστή. Μια γκοφρέτα προϊόντων που καθορίζεται όπως αποτυχών ως αποτέλεσμα του ελέγχου μεταφέρεται σε έναν κενό μεταφορέα από μια ενσωματωμένη συσκευή μεταφορών γκοφρετών τύπων υπό την εκπαίδευση του οικοδεσπότη υπολογιστή. Ο μεταφορέας στον οποίο η γκοφρέτα προϊόντων που καθορίζεται όπως αποτυχών προσαρμόζεται θεωρείται ως μέρος επανάληψης από τον οικοδεσπότη υπολογιστή. Με βάση τις τυποποιημένες πληροφορίες κατασκευής για την επανάληψη που κατέχει ο οικοδεσπότης υπολογιστής, η επεξεργασία επανάληψης εκτελείται μέσω μιας λειτουργίας κατασκευής γκοφρετών. Επομένως, μια τέτοια γραμμή κατασκευής συσκευών ημιαγωγών οδηγεί δεδομένου ότι ο μεταφορέας που προσαρμόζει την γκοφρέτα προϊόντων μεταφέρεται και αντιμετωπίζεται ομαλά.
