An electrostatic comb drive suitable for micro-electro-mechanical systems
("MEMS") application uses shaped fingers to achieve bi-directional
actuation from a unipolar actuation pulse. The finger shape also provides
auto-braking of the movable member of the drive using a simple actuating
pulse. In a further embodiment, an end stop inhibits overshoot and a back
spring pushes the movable portion of the device back toward an operating
position. In yet a further embodiment, a Vernier scale is provided on the
movable portion of the drive relative to the fixed portion of the drive to
indicate relative shift of these portions after the device is fabricated.
Une commande électrostatique de peigne appropriée application micro-électro-mécanique des systèmes (à l'"MEMS") utilise les doigts formés pour réaliser la mise en action bi-directionnelle d'une impulsion unipolaire de mise en action. La forme de doigt fournit également automobile-freiner du membre mobile de la commande en utilisant une impulsion de déclenchement simple. Dans une autre incorporation, un arrêt d'extrémité empêche dépassent et un ressort arrière repousse la partie mobile du dispositif vers une position de fonctionnement. Dans pourtant une autre incorporation, un vernier est fournie sur la partie mobile de la commande relativement à la partie fixe de la commande pour indiquer le décalage relatif de ces parties après que le dispositif soit fabriqué.
