The invention provides a discharge electrodes connecting structure for a
laser apparatus in which a thickness of the return plate is set to be
within an optimum range, and a laser apparatus employing the same.
Accordingly, a laser apparatus is provided with a laser chamber (2)
sealing a laser gas, a pair of anode (5A) and cathode (5B) provided within
the laser chamber in an opposing manner, generating a discharge so as to
excite a laser gas flowing therebetween and oscillating a laser beam, a
conductive anode base (6) holding the anode, an insulative cathode base
(8) holding the cathode, and a return plate (9) electrically connecting
the anode base to the laser chamber so as to supply a current to the
anode. A thickness (t) of the return plate is set to be equal to or more
than 100 .mu.m and equal to or less than 500 .mu.m, and the return plate
is arranged substantially in parallel to a gas flow of the laser gas
flowing between the discharge electrodes.
L'invenzione fornisce gli elettrodi di scarico che collegano la struttura per un'apparecchiatura del laser in cui uno spessore della piastra di ritorno è regolato per essere all'interno di una gamma ottimale e un'apparecchiatura del laser che impiega lo stesso. Di conseguenza, un'apparecchiatura del laser è fornita di un alloggiamento del laser (2) che sigilla un gas del laser, un accoppiamento dell'anodo (5A) e catodo (5B) fornito all'interno dell'alloggiamento del laser in un modo avversario, generante uno scarico in modo da eccitare fluire del gas del laser therebetween ed oscillare un fascio laser, una tenuta conduttiva della base dell'anodo (6) l'anodo, una tenuta insulative della base del catodo (8) il catodo e una piastra di ritorno (9) che collega elettricamente la base dell'anodo all'alloggiamento del laser in modo da fornire una corrente all'anodo. Uno spessore (t) della piastra di ritorno è regolato per essere uguale a o più di mu.m 100 mu.m ed uguale a o più meno di 500 e la piastra di ritorno è organizzata sostanzialmente parallelamente ad un flusso del gas del gas del laser che fluisce fra gli elettrodi di scarico.
