The present invention provides a substrate transfer controlling apparatus
which can easily maximize the throughput of a substrate processing
apparatus such as a semiconductor fabrication apparatus, and can satisfy a
demand for immediacy of actions of a transfer device. The substrate
transfer controlling apparatus comprises an input device (12) for
inputting times required for actions of transfer devices (1a through 1c)
and times required to process substrates in processing devices (3a through
9d), and a schedule calculator (21) for calculating execution times of
actions of the transfer devices (1a through 1c) for allowing the time when
a final one of the substrates to be processed is fully processed and
returned from the substrate processing apparatus to be earliest, based on
a predetermined conditional formula including, as parameters, the inputted
times. The substrate transfer controlling apparatus further comprises an
action commander (24) for instructing the corresponding transfer devices
to perform the actions at the calculated execution times of the actions of
the transfer devices (1a through 1c).
Присытствыющий вымысел обеспечивает прибор переноса субстрата контролируя может легко увеличить throughput субстрата обрабатывая прибор such as прибор изготовления полупроводника, и может удовлетворять требование для immediacy действий приспособления перехода. Прибор переноса субстрата контролируя состоит из вводного устройства (12) для inputting времена необходим для действий приспособлений перехода (1a через 1Јc) и времена необходим, что обработал субстраты в обрабатывать приспособления (3Јa через 9d), и чалькулятора план-графика (21) на calculating времена исполнения действий приспособлений перехода (1a через 1Јc) для позволять время когда окончательное один из субстратов, котор нужно обрабатывать полно будет обработано и возвращено от субстрата обрабатывая прибор для того чтобы быть самый предыдущий, после того как оно основано на предопределенной условно формуле включая, как параметры, inputted времена. Прибор переноса субстрата контролируя более добавочно состоит из командира действия (24) для инструктировать соответствуя приспособления перехода для того чтобы выполнить действия на высчитанных временах исполнения действий приспособлений перехода (1a через 1Јc).
