A database interpolation method is used to rapidly calculate a predicted
optical response characteristic of a diffractive microstructure as part of
a real-time optical measurement process. The interpolated optical response
is a continuous and (in a preferred embodiment) smooth function of
measurement parameters, and it matches the theoretically-calculated
optical response at the database-stored interpolation points.
Eine Datenbankinterpolationmethode wird verwendet, um eine vorausgesagte optische Antwort schnell zu errechnen, die von einer diffractive Mikrostruktur als Teil eines optischen Maßrealzeitprozesses charakteristisch ist. Die interpolierte optische Antwort ist eine ununterbrochene und (in einer bevorzugten Verkörperung) glatte Funktion der Maßparameter, und sie bringt die theoretisch-errechnete optische Antwort an den Datenbank-gespeicherten Interpolationpunkten zusammen.
