A method for forming an electrically conductive layer having predetermined
patterns for semiconductor devices includes providing a substrate, forming
an insulation layer having OH functional groups on the substrate, forming
a patterned polymer layer on the insulation layer, etching the insulation
layer to create a patterned insulation layer which has the same patterns
as the patterned polymer layer, stripping the patterned polymer layer to
expose the patterned insulation layer, treating the patterned insulation
layer with a coupling agent which reacts with the OH functional groups,
treating the patterned insulation layer with a catalyst-containing
solution in which the catalyst reacts with the coupling agent, and
depositing electrically conductive material on the patterned insulation
layer which is catalytically active.
Μια μέθοδος για ένα ηλεκτρικά αγώγιμο στρώμα που έχει προκαθορίσει τα σχέδια για τις συσκευές ημιαγωγών περιλαμβάνει την παροχή ενός υποστρώματος, διαμορφώνοντας ένα στρώμα μόνωσης που έχει τις λειτουργικές ομάδες OH σχετικά με το υπόστρωμα, που διαμορφώνουν ένα διαμορφωμένο πολυμερές στρώμα στο στρώμα μόνωσης, χαράζοντας το στρώμα μόνωσης για να δημιουργήσει ένα διαμορφωμένο στρώμα μόνωσης που έχει τα ίδια σχέδια με το διαμορφωμένο πολυμερές στρώμα, γδύνοντας το διαμορφωμένο πολυμερές στρώμα για να εκθέσει το διαμορφωμένο στρώμα μόνωσης, μεταχειριμένος το διαμορφωμένο στρώμα μόνωσης με έναν πράκτορα συζεύξεων που αντιδρά με τις λειτουργικές ομάδες OH, που μεταχειρίζονται το διαμορφωμένο στρώμα μόνωσης με μια καταλύτης-περιέχοντας λύση στην οποία ο καταλύτης αντιδρά με τον πράκτορα συζεύξεων, και που καταθέτουν ηλεκτρικά το αγώγιμο υλικό στο διαμορφωμένο στρώμα μόνωσης που ηθονδuθτορ δεβηθες ηνθλuδες προβηδηνγ α σuψστρατε, φορμηνγ αν ηνσuλατηον λαυερ χαβηνγ ΟΧ φuνθτηοναλ γροuπς ον τχε σuψστρατε, φορμηνγ α παττερνεδ πολυμερ λαυερ ον τχε ηνσuλατηον λαυερ, ετθχηνγ τχε ηνσuλατηον λαυερ το θρεατε α παττερνεδ ηνσuλατηον λαυερ ωχηθχ χας τχε σαμε παττερνς ας τχε παττερνεδ πολυμερ λαυερ, στρηππηνγ τχε παττερνεδ πολυμερ λαυερ το εξποσε τχε παττερνεδ ηνσuλατηον λαυερ, τρεατηνγ τχε παττερνεδ ηνσuλατηον λαυερ ωητχ α θοuπληνγ αγεντ ωχηθχ ρεαθτς ωητχ τχε ΟΧ φuνθτηοναλ γροuπς, τρεατηνγ τχε παττερνεδ ηνσuλατηον λαυερ ωητχ α θαταλυστ-θονταηνηνγ σολuτηον ην ωχηθχ τχε θαταλυστ ρεαθτς ωητχ τχε θοuπληνγ αγεντ, ανδ δεποσητηνγ ελεθτρηθαλλυ θονδuθτηβε ματερηαλ ον τχε παττερνεδ ηνσuλατηον λαυερ ωχηθχ ης θαταλυτηθαλλυ αθτηβε.
