A process for making thin-film batteries including the steps of cleaning a
glass or silicon substrate having an amorphous oxide layer several microns
thick; defining with a mask the layer shape when depositing cobalt as an
adhesion layer and platinum as a current collector; using the same mask as
the preceding step to sputter a layer of LiCoO.sub.2 on the structure
while rocking it back and forth; heating the substrate to 300.degree. C.
for 30 minutes; sputtering with a new mask that defines the necessary
electrolyte area; evaporating lithium metal anodes using an appropriate
shadow mask; and, packaging the cell in a dry-room environment by applying
a continuous bead of epoxy around the active cell areas and resting a
glass slide over the top thereof.
Um processo para fazer baterias thin-film including as etapas de limpar uma carcaça do vidro ou do silicone que tem uma camada amorfa do óxido diversos mícrons grossos; definindo com uma máscara a forma da camada quando o cobalt depositando como uma adesão mergulhar e platina como um coletor atual; usando a mesma máscara que a etapa precedente sputter uma camada de LiCoO.sub.2 na estrutura ao balançá-la para a frente e para trás; aquecendo a carcaça a 300.degree. C. por 30 minutos; sputtering com uma máscara nova que defina a área necessária do eletrólito; ânodos evaporando do metal do lítio usando uma máscara apropriada da sombra; e, empacotando a pilha em um ambiente do seco-quarto aplicando um grânulo contínuo de epoxy em torno das áreas ativas da pilha e descansando uma corrediça de vidro sobre o alto disso.
