An object of the present invention is to provide an inspecting device
equipped with a probe card capable of inspecting an object to be inspected
appropriately even at heating or cooling time. The inspecting device of
the present invention is an inspecting device equipped with a performance
substrate provided with a terminal for inspection; a contactor substrate
provided with a probe contacting an object to be inspected; and a probe
card intervening between the probe of conductor substrate and a terminal
of performance substrate, wherein the probe card is a multi-layered
substrate in which a resin thin film is laminated on a ceramic board.
Предмет присытствыющего вымысла должен обеспечить проверяя приспособление оборудованное с карточкой зонда способной проверять предмет для того чтобы быть проверенные соотвествующе ровными на топлении или охлаждая времени. Проверяя приспособлением присытствыющего вымысла будет проверяя приспособление оборудованное при субстрат представления обеспеченный с стержнем для осмотра; субстрат контактора обеспечил при зонд контактируя предмет, котор нужно проверить; и карточка зонда вмешиваясь между зондом субстрата проводника и стержнем субстрата представления, при котором карточка зонда будет multi-layered субстратом в котором пленка смолаы тонкая прокатана на керамической доске.
