Tabs or stops are integrated into a membrane structure to prevent its
snapdown. Features comprising two surfaces separated by a distance equal
to the maximum desired range of movement are produced. When the two
surfaces contact, the motion of the structure is arrested or greatly
diminished by increasing its rigidity. For an electrostatically actuated
MEMS structure, these features can be used to limit the range of motion
such that pull-in or snapdown is avoided, greatly enhancing the
reliability of the device. One key design feature is that the two
contacting surfaces are maintained at the same electrical potential
avoiding problems associated with electrostatic cavity discharge.
voorziet van labels of de einden zijn geïntegreerd in een membraanstructuur om zijn snapdown te verhinderen. De eigenschappen die uit twee oppervlakten bestaan die door een afstand gelijk aan de maximum gewenste waaier van beweging worden gescheiden worden veroorzaakt. Wanneer de twee oppervlakten contacteren, wordt de motie van de structuur gearresteerd of door zijn starheid te verhogen zeer verminderd. Voor een elektrostatisch aangedreven structuur MEMS, kunnen deze eigenschappen worden gebruikt om de waaier van motie te beperken dusdanig dat trekkracht-binnen of snapdown wordt vermeden, zeer verbeterend de betrouwbaarheid van het apparaat. Één zeer belangrijke ontwerpeigenschap is dat twee die oppervlakten contacteren bij het zelfde elektropotentieel vermijdend problemen verbonden aan elektrostatische holtelossing worden gehandhaafd.
