A multi-grid ion beam source has an extraction grid, an acceleration grid,
a focus grid, and a shield grid to produce a highly collimated ion beam. A
five grid ion beam source is also disclosed having two shield grids. The
extraction grid has a high positive potential and covers a plasma chamber
containing plasma. The acceleration grid has a non-positive potential. The
focus grid is positioned between the acceleration grid and the shield
grid. The combination of the extraction grid and the acceleration grid
extracts ions from the plasma. The focus grid acts to change momentum of
the ions exiting the acceleration grid, focusing the ions into a more
collimated ion beam than previous approaches. In one embodiment, the focus
grid has a large positive potential. In another embodiment, the focus grid
has a large negative potential.
Uma fonte multi-grid do feixe de íon tem uma grade da extração, uma grade do acceleration, uma grade do foco, e uma grade do protetor para produzir um feixe de íon altamente collimated. Uma fonte do feixe de íon de cinco grades é divulgada também tendo duas grades do protetor. A grade da extração tem um potencial positivo elevado e cobre uma câmara do plasma que contem o plasma. A grade do acceleration tem um potencial non-positive. A grade do foco é posicionada entre a grade do acceleration e a grade do protetor. A combinação da grade da extração e da grade do acceleration extrai íons do plasma. A grade do foco age para mudar o momentum dos íons que retiram a grade do acceleration, focalizando os íons em um feixe de íon collimated do que aproximações precedentes. Em uma incorporação, a grade do foco tem um potencial positivo grande. Em uma outra incorporação, a grade do foco tem um potencial negativo grande.
