A method for fabricating a three-dimensional tapered optical waveguide and
a three-dimensional tapered optical waveguide are shown and described. The
fabrication method takes advantage of RIE lag to create a shaped trench in
a lower cladding layer that has one end that is wider and deeper and than
the opposite end. After the trench is filled with core material, a second
RIE process is carried out which takes advantage of reverse RIE lag to
etch the core material at a faster rate at the shallower and narrower end
and at a slower rate at the wider and deeper end. The result is shaped
core of a three-dimensional tapered optical waveguide that is wider and
deeper at one end and tapers towards a shallower and narrower end for
improved optical signal transmission.
Een methode om een driedimensionele verminderde optische golfgeleider te vervaardigen en een driedimensionele verminderde optische golfgeleider worden getoond en beschreven. De vervaardigingsmethode haalt voordeel uit vertraging RIE om tot een gevormde geul in een lagere bekledingslaag te leiden die één eind heeft dat breder en dieper is en dan het tegengesteldeeind. Nadat de geul met kernmateriaal wordt gevuld, wordt een tweede proces RIE uitgevoerd dat uit omgekeerde vertraging RIE voordeel haalt om het kernmateriaal aan een sneller tarief op het ondiepere en smallere eind en aan een langzamer tarief op het bredere en diepere eind te etsen. Het resultaat is gevormde kern van een driedimensionele verminderde optische golfgeleider die breder en dieper is aan de ene kant en vermindert tegen een ondieper en smaller eind voor betere optisch signaaltransmissie.
