A wafer chuck used in manufacturing processes of integrated semiconductors
and liquid crystal panels, more particularly, an electrostatic silicone
rubber chuck for ion injectors used in an ion injection process.
Eine Oblateklemme besonders benutzt in den Herstellungsverfahren der integrierten Halbleiter und der flüssigen Kristallverkleidungen, eine Gummiklemme des elektrostatischen Silikons für die Ioneninjektoren benutzt in einem Ioneneinspritzungprozeß.
